自社株取引日	役員・従業員名	役員・従業員の役職	株式の種類	売却／購入	株数	株価
2007-06-01	DAUWALTER, JAMES E	Director	普通株式	売却	7,457	$11.58
2007-05-29	VILLAS, JOHN D	Former Employee of Entegris	普通株式	売却	4,282	$11.50
2007-05-09	BRADLEY, MICHAEL A	Director	普通株式	購入	3,000	$
2007-05-09	PYLE, THOMAS O	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	PYLE, THOMAS O	Director	普通株式	購入	3,000	$
2007-05-09	CARNS, MICHAEL P C	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	CARNS, MICHAEL P C	Director	普通株式	購入	3,000	$
2007-05-09	BRADLEY, MICHAEL A	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	KLINGL, GARY F	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	KLINGL, GARY F	Director	普通株式	購入	3,000	$
2007-05-09	CHRISTMAN, DANIEL W	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	CHRISTMAN, DANIEL W	Director	普通株式	購入	3,000	$
2007-05-09	SULLIVAN, BRIAN F	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	MCDANIEL, ROGER D	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	MCDANIEL, ROGER D	Director	普通株式	購入	3,000	$
2007-05-09	OLSON, PAUL L H	Director	普通株式	購入	7,000	$
2007-05-09	OLSON, PAUL L H	Director	普通株式	購入	3,000	$
2007-05-09	SULLIVAN, BRIAN F	Director	普通株式	購入	3,000	$